5月13日,普达特科技(00650)发布公告,控股69.2%的附属公司芯恺半导体开拓(徐州)有限职守公司已从一客户处取得两台半导体低压化学气相千里积(LPCVD)开拓的样机订单。天然该样机订单的收入尚未阐述,但公司经由合理查询阐述该客户极度最终实益领有者为寂然于公司极度关连东说念主士的第三方。
这些LPCVD开拓用于12寸半导体晶圆制造,触及LP-SiN与ALD-SiN两类关节薄膜千里积工艺。开拓已完成前期测试,将差异于2025年5月19日和2025年6月25日委派客户的晶圆厂。相较于国产同类开拓,该开拓在技巧上可完竣更高的填充深宽比、均匀性、台阶粉饰率与更低的浑浊,且领有更高的批次坐蓐戒指。与国际供应商的同类开拓比拟,该开拓在技巧性能上达到同等水平,同期具备更优的性价比开云kaiyun.com,为客户提供更具竞争力的处理决策。